高純氣體的分析 高純氣體分析的核心是對其中的規(guī)定雜質(zhì)進行定性、定量測定。由于高純氣體中的限定雜質(zhì)數(shù)目多, 且含量極低, 通常在 10-6～ 10-7范圍, 因此對測試設(shè)備和分析人員均有較高的要求。 

目前, 用于高純氣體測試的設(shè)備主要有:色譜儀、質(zhì)譜儀、色- 質(zhì)聯(lián)用儀、光譜儀、電化學儀器、露點儀及各種專項測試儀表。經(jīng)典的化學分析方法也是測定化學活性雜質(zhì)的常用手段。 從事高純氣體分析的分析人員應熟悉氣體分析的一般過程, 具有正確選擇檢測方法的能力, 并通過實踐掌握高純氣體分析的特殊技能。擁有具備資格的分析人員和適宜的測試設(shè)備, 是開展高純氣體檢測工作的前提。 隨著半導體工業(yè)的發(fā)展, 對氣體產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來越高, 對高純氣體分析的測試技術(shù)要求亦在不斷提高?？梢詳嘌? 高純氣體測試手段及方法的研究是一項永無止境的工作。